Измерение параметров пленочных структур: Методические указания по выполнению лабораторных работ [Текст] : Методические указания по выполнению лабораторных работ / Сост. СП. Зимин. - Ярославль : ЯрГУ, 2004. - 38 с. ; нет. - Б. ц. Авторизованный доступ для Академии МУБиНТ. Логин - ваш почтовый адрес от Office365, пароль - mubint
Кл.слова (ненормированные): микроэлектроника -- полупроводниковые -- приборы Аннотация: В методических указаниях содержатся теоретические сведения и излагается порядок выполнения лабораторных работ. Выполнено в соответствии с государственным образовательным стандартом.