1. 
|
Вакуумно-плазменные процессы и технологии [Текст] : Учебно-методическое пособие / В. В. Рыбкин. - Иваново : Ивановский государственный химико-технологический университет, 2006. - 260 с. - Б. ц.
Авторизованный доступ для Академии МУБиНТ. Логин - ваш почтовый адрес от Office365, пароль - mubint
Кл.слова (ненормированные):
химия
Аннотация: Рассмотрены процессы образования активных частиц в плазме и их взаимодействия с поверхностью твердого тела, а так же технологические применения неравновесной плазмы для травления и модификации полимерных и неорганических материалов. Пособие предназначено для студентов специальности Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники и может быть полезно для студентов и аспирантов, специализирующихся по технологии микроэлектроники и в смежных областях.
Файл: rucont.ru - 0Перейти: http://rucont.ru/efd/142086?urlId=Mj2a2pKslHGdcOm5RQz1uctKxakxVR3WMRDYG10unmGugfcBBYAoWO8EwgHyh/jqOLJ29jztyPUEIfjDw9aWRQ==
Доп.точки доступа:
Рыбкин, В.В.
Свободных экз. нет
Найти похожие
|