1. 
| 533.9:620.5
М 74
Модификация нанослоев в высокочастотной плазме пониженного давления [Текст] : монография / И. Ш. Абдуллин [и др.]. - Казань : КГТУ, 2007. - 370 с. ; есть. - ISBN 978-5-7882-0553-3 : Б. ц.
Авторизованный доступ для Академии МУБиНТ. Логин - ваш почтовый адрес от Office365, пароль - mubintББК 22.333
Кл.слова (ненормированные):
модификация -- нанослоев -- нанослои -- материалов -- высокочастотная -- плазма -- пониженного -- давления -- качество -- изделий -- плазменная -- обработка -- материалов -- металлы -- сплавы -- полупроводники -- диэлектрики -- тонкопленочные -- покрытия -- наноматериалы -- нанотехнологии
Аннотация: Работа посвящена модификации поверхностного нанослоя металлов, их сплавов, полупроводников, диэлектриков, тонкопленочных покрытий с помощью высокочастотных разрядов индукционного и емкостного типов при пониженном давлении. Описывается физическая и математическая модели модификации поверхности материалов в высокочастотной плазме пониженного давления, а также результаты теоретического исследования закономерностей формирования основных параметров процесса модификации.
Файл: rucont.ru - 0Перейти: http://rucont.ru/efd/229663?urlId=c7PQmrWq4Jk3J2LZ8LWQD+yhE03ga8D/a3bjhppEaZiqQKbkMV8Wb8+hZdDaIBQIwTBdbgVPNtrjl2dzMJe3ww==
Доп.точки доступа:
Абдуллин, И. Ш.; Желтухин , В. С.; Сагбиев , И. Р.; Шаехов, М. Ф.; Казан. гос. технол. ун-т
Свободных экз. нет
Найти похожие
|