621.793 С 13 Сагбиев, И. Р.. ВЧ плазменная модификация поверхности диэлектрических материалов и тонкопленочных покрытий [Текст] : препринт / И. Р. Сагбиев. - Казань : КГТУ, 2007. - 29 с. ; есть. - Б. ц. Авторизованный доступ для Академии МУБиНТ. Логин - ваш почтовый адрес от Office365, пароль - mubint
Кл.слова (ненормированные): плазма -- физика -- поверхностная -- обработка -- обработка -- поверхности -- технология -- металлов -- обработка -- материалов -- покрытия -- пленки -- тонкие -- пленки -- диэлектрики -- высокочастотные -- разряды -- плазменная -- модификация -- поверхности -- диэлектрические -- материалы -- тонкопленочные -- покрытия Аннотация: В работе представлены результаты модификации поверхности диэлектрических материалов и тонкопленочных покрытий. Исследовалась зависимость результатов ВЧ плазменной модификации поверхности материалов от входных параметров плазмотрона, основных параметров обработки – энергии ионов и плотности ионного тока в СПЗ, а также степени термической неравновесности. Установлено, что плазменная модификация поверхности пленок позволяет улучшить их электрофизические и физико- механические свойства, а также уменьшать неровности их поверхности и увеличивать срок службы покрытий в 2 раза. Файл: rucont.ru - 0Перейти: http://rucont.ru/efd/283349?urlId=UwpbEcPkV/jxMwLRRf9IiCvJX5vBvpGY1DiU9vHItYyr5QqxzRXNl/IumqZUBoRcgRI18qPOM7nQ7Ph50mP0FA== Доп.точки доступа: Казан. гос. технол. ун-т Свободных экз. нет |