1.
| З23 К72
Костромин, Сергей Викторович. Низкотемпературная технология получения эпитаксиальных структур карбид кремния на изоляторе на основе композиции "SiC-AIN" [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: Специальность 05.27.06 / С. В. Костромин. - СПб : СПбГЭУ, 1997. - 16с. : ил. - ББК З23 Рубрики: Электронная техника Кл.слова (ненормированные): полупроводники -- авторефераты З23
Держатели документа: ЯрГУ
ЯрГУ/ЧЗ/НБ Свободных экз. нет Найти похожие
|