1.
| 621.794 Д18
Данилин, Б. С. Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов [Текст] : производственно-практическое издание / Б.С. Данилин, В.Ю. Киреев. - М. : Энергоатомиздат, 1987. - 264 с. : граф., табл., схем. - Библиогр.: с.252 . - (в пер.) : 1.40 р. Кл.слова (ненормированные): ПЛАЗМА -- СРЕДА -- АКТИВАТОР -- РАБОЧИЕ -- ГАЗЫ -- ВАКУУМНО - ТЕХНИЧЕСКИЕ -- ПАРАМЕТРЫ -- НАСОСЫ -- ИОННО - ПЛАЗМЕННОЕ -- ИОННО - ЛУЧЕВОЕ -- РАДИКАЛЬНОЕ -- РЕАКТИВНОЕ -- РАДИАЦИОННО - СТИМУЛИРОВАННОЕ -- СКОРОСТЬ -- ОКОНЧАНИЕ -- АВТОМАТИЗАЦИЯ -- СПЕКТРОСКОПИЯ
Держатели документа: ОАО НПО Сатурн : 152093, г. Рыбинск, Ярославской обл., пр. Ленина, 163 Доп.точки доступа: Киреев, В.Ю.
Свободных экз. нет Найти похожие
|