Сводный каталог НТЛ по Ярославской области - результаты поиска

Базы данных:

Сводный каталог НТЛ по Ярославской области

Электронный каталог выпускных квалификационных работ

Виды поиска:

Поиск в найденном

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>K=ПЛАЗМОХИМИЧЕСКАЯ<.>)
Общее количество найденных документов : 3 Показаны документы с 1 по 3

1..3

[621.382+533.9](07)
Р 93

Рыбкин, В. В.
Плазмохимическая технология в производстве полупроводниковых приборов [Текст] : Учеб. пособие / В. В. Рыбкин, В. И. Светцов. - Иваново : [б. и.], 1989. - 96с. - Библиогр.:с.92-96. - Б. ц.

УДК

[621.382+533.9](07)

Держатели документа:
ИГХТУ : 153000 г. Иваново, пр. Энгельса, 10
Доп.точки доступа:
Светцов, В.И.
Свободных экз. нет
Найти похожие

УДК

[621.382+533.9](07)

621.9.048
И22

Ивановский, Г. Ф.
Ионно-плазменная обработка материалов [Текст] : производственно-практическое издание / Г.Ф. Ивановский, В.И. Петров. - М. : Радио и связь, 1986. - 232 с. : граф., рис., схем, табл. - Библиогр.: с. 226-231. - (в пер.) : 1.20 р.

ГРНТИ	55.20.19
УДК	621.9.048

Кл.слова (ненормированные):
БОМБАРДИРОВКА -- РАСПЫЛЕНИЕ -- ПЛАЗМОХИМИЧЕСКАЯ -- ТРАВЛЕНИЕ -- ПЛЕНОЧНЫЕ -- ПОКРЫТИЯ -- ИОННО - лучевая -- ОЧИСТКА -- ПОВЕРХНОСТЕЙ -- ПОЛИРОВАНИЕ -- ОБОРУДОВАНИЕ -- ВАКУУМ

Держатели документа:
ОАО НПО Сатурн : 152093, г. Рыбинск, Ярославской обл., пр. Ленина, 163

Доп.точки доступа:
Петров, В.И.
Свободных экз. нет
Найти похожие

1..3