2.
| 620.17 К65
Концевой, Ю. А. Пластичность и прочность полупроводниковых материалов и структур [Текст] : научное издание / Ю.А. Концевой, Ю.М. Литвинов, Э.А. Фаттахов. - М. : Радио и связь, 1982. - 260 с. : граф., рис., фото. - Библиогр.: с. 215-235. . -Предм. указ.: с. 236. - 0.80 р. Кл.слова (ненормированные): методы ИССЛЕДОВАНИЯ -- монокристаллические -- ИНТЕГРАЛЬНЫЕ МИКРОСХЕМЫ -- ДИСЛОКАЦИИ -- ДЕФОРМАЦИИ -- МИКРОВДАВЛИВАНИЕ -- РАЗРУШЕНИЕ -- склерометрия -- АППАРАТУРА -- КОНТРОЛЯ -- ТЕРМООБРАБОТКА -- скрайбирование -- пластин -- лучом лазера -- ДИФФУЗИЯ -- разлом
Держатели документа: ОАО НПО Сатурн : 152093, г. Рыбинск, Ярославской обл., пр. Ленина, 163 Доп.точки доступа: Литвинов, Ю.М.; Фаттахов, Э.А.
Свободных экз. нет Найти похожие
|