1.
| 621.793 О-22
Оборудование ионной имплантации [Текст] : производственно-практическое издание / В.В. Симонов, Л. А. Корнилов, А.В. Шашелев. - [Б. м.] : Радио и связь, 1988. - 181 с. : ил. - Библиогр.: с. 179-181. - ISBN 5-256-00007-1 : 0.70 р. Кл.слова (ненормированные): ЭЛЕКТРОННАЯ -- ТЕХНИКА -- ПУЧКИ -- ЛИНЗЫ -- ПРИЕМНЫЕ -- УСТРОЙСТВА -- ДОЗЫ -- ВАКУУМНАЯ -- СИСТЕМА -- САУ -- СКАНИРОВАНИЯ -- ПРОМЫШЛЕННЫЕ -- УСТАНОВКИ -- ТЕХНИКА БЕЗОПАСНОСТИ -- ПОСЛЕИМПЛАЦИОННЫЕ -- МЕТОДЫ ИЗМЕРЕНИЯ
Держатели документа: ОАО НПО Сатурн : 152093, г. Рыбинск, Ярославской обл., пр. Ленина, 163 Доп.точки доступа: Симонов, В.В.; Корнилов, Л. А.; Шашелев, А.В.
Свободных экз. нет Найти похожие
|