1. ![](/irbis64r_10/images/printer.jpg)
| З844.1 С50
Смирнов, Валерий Константинович. Ионно-и электронно-зондовый анализ структур СБИС [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени доктора физико-математических наук: Специальность 05.27.01 / В. К. Смирнов. - М : ФТИ РАН, 1995. - 35с. : ил. - ББК З844.1 Рубрики: Микроэлектроника Кл.слова (ненормированные): СБИС -- авторефераты З844
Держатели документа: ЯрГУ
ЯрГУ/ЧЗ/НБ Свободных экз. нет Найти похожие
|