1.
| В379.3 С37
Симакин, Сергей Геннадьевич. Вторично-ионная масс-спектрометрия тонкопленочных структур микроэлектронной технологии [Текст] : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук: Специальность 05.27.01 / С. Г. Симакин. - Черноголовка : Ин-т микроэлектроники, 1995. - 23с. : ил. - ББК В379.3 Рубрики: Физика диэлектриков Кл.слова (ненормированные): авторефераты В37
Держатели документа: ЯрГУ
ЯрГУ/ЧЗ/НБ Свободных экз. нет Найти похожие
|