1.
| [621.382+533.9](07) Р 93
Рыбкин, В. В. Плазмохимическая технология в производстве полупроводниковых приборов [Текст] : Учеб. пособие / В. В. Рыбкин, В. И. Светцов. - Иваново : [б. и.], 1989. - 96с. - Библиогр.:с.92-96. - Б. ц.
Держатели документа: ИГХТУ : 153000 г. Иваново, пр. Энгельса, 10 Доп.точки доступа: Светцов, В.И.
Свободных экз. нет Найти похожие
|