1.
|
Ломанов, А. Н. РГАТА. Математическая модель магнетронной системы, характеризующая зависимость между скоростью распыления материала и интенсивностью линий спектра плазмы [Текст] / А.Н. Ломанов, Э.И. Семенов> // Упрочняющие технологии и покрытия. - 2006. - №12. - С. 7-11. - Библиогр. в конце ст.
Кл.слова (ненормированные): ионно-плазменное распыление -- вакуум
Держатели документа: ОАО НПО Сатурн : 152093, г. Рыбинск, Ярославской обл., пр. Ленина, 163 Доп.точки доступа: Семенов, Э.И. Найти похожие
|