2.
| 621.9.048 К65
Контроль параметров тонких пленок, защитных покрытий и технологического процесса их нанесения в вакууме [Текст] / Э.И. Семенов, Ю.И. Паутов, Н.А. Швалев> // Упрочняющие технологии и покрытия. - 2006. - N6. - С. 46-56 : схемы, z-рис. - Библиогр. в конце ст.
Кл.слова (ненормированные): ВИБРАЦИОННЫЙ -- ФОТОМЕТРИЧЕСКИЙ -- ИЗМЕРИТЕЛЬ -- ТОЛЩИНЫ -- ЖАРОСТОЙКИХ -- ТЕПЛОЗАЩИТНЫХ -- ДАТЧИК -- камертонный -- СКОРОСТЬ -- ОСАЖДЕНИЯ -- резистивных
Держатели документа: ОАО НПО Сатурн : 152093, г. Рыбинск, Ярославской обл., пр. Ленина, 163 Доп.точки доступа: Паутов, Ю.И.; Швалев, Н.А.; Семенов, Э.И.; Гусаров, А.В.; Семенова, С.Э.; Истомин, А.С. Нет сведений об экземплярах Найти похожие
|