Сводный каталог НТЛ по Ярославской области - результаты поиска

Базы данных:

Сводный каталог НТЛ по Ярославской области

Электронный каталог выпускных квалификационных работ

Виды поиска:

Поиск в найденном

Отсортировать найденные документы по:
автору	заглавию	году издания	типу документа

Поисковый запрос: (<.>A=Ефремов,, Александр Михайлович$<.>)
Общее количество найденных документов : 2 Показаны документы с 1 по 2

1..2

621.38.049(07)
Е 92

Ефремов,, Александр Михайлович.
Вакуумно-плазменные процессы и технологии [Текст] : учеб. пособие для вузов по спец. "Хим. технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники" / Александр Михайлович Ефремов,, В. И. Светцов,, Рыбкин, В. В. - Иваново : [б. и.], 2006. - 260 с. - Библиогр. : с. 258. - ISBN 5-9616-0155-2 : Б. ц.

УДК

621.38.049(07)

Рубрики: Электроника--Вакуумно-плазменные процессы в технологии производств ИС ; Вакуумно-плазменные технологии в микроэлектронике
Кл.слова (ненормированные):
вакуумно-плазменные процессы ; вакуумно-плазменные технологии [микроэлектроника]

Держатели документа:
ИГХТУ : 153000 г. Иваново, пр. Энгельса, 10

Доп.точки доступа:
Светцов,, В. И.; Рыбкин, В. В.
Свободных экз. нет
Найти похожие

УДК

621.38.049(07)

1..2